Plasma im Fokus der Industrieforschung

BMBF-Projekt FlexCoPas abgeschlossen / Projektpartner SENTECH entwickelt neue Messverfahren wie ein Messgerät für Transmissionsmessungen an Folien und Linsen.

Im FlexCoPas-Verbundprojekt entwickelte SENTECH ein Messgerät, welches Transmissionsmessungen an Folien und Linsen durchführt. Bild: SENTECH Instruments GmbH

22.05.17

Meldung der SENTECH Instruments GmbH

Das Berliner Messtechnik-Unternehmen SENTECH ist einer von insgesamt neun Partnern im kürzlich abgeschlossenen Verbundprojekt „Erforschung hochflexibler optischer Präzisionsschichten auf Polymeroberflächen (FlexCoPas)“. Das Projekt wurde vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) im Rahmen der Initiative „Innovative Anwendungen der Plasmatechnik“ gefördert.

Innerhalb der vierjährigen Projektdauer konnten innovative Messverfahren als auch ein Messgerät entwickelt werden, welche Schichtstapel oder auch störungsbehaftete Schichten präzise messen können.

Zum Projektende legt das Messtechnik-Unternehmen nun seine Ergebnisse vor:

  • Erstens wurde ein optisches Breitbandmonitoring mit adaptiver Strategie entwickelt, welches auf der insitu Transmissionsmessung basiert. Dieses arbeitet mit adaptiven Strategien während der Abscheidung zur Bestimmung aktueller Dicken und zur Berechnung und Signalisierung der Abschaltpunkte der aktuellen Teilschicht.
    Weiterhin können Schichtänderungen des bereits abgeschiedenen Stapels (Kompaktierung, Brechzahländerung) betrachtet werden, auch ist der Abgleich mit Schwingquarzdaten bei Verfügbarkeit erweiterbar, um die Designkorrektur für Zielspektren zu ermöglichen.
    Es können nun mehr als 10 Schichten ausgewertet werden. Vor allem ist die bei größeren Gesamtschichtdicken relevante Brechzahldrift im Material besser auszugleichen. Anwendungen finden sich hier u.a. im Bereich von höherwertigen Filterschichten, bei denen es auf genaue Kantenlagen und Transmissionswerte ankommt.
  • Zum Zweiten konnte ein Messgerät entwickelt werden, welches Transmissionsmessungen an Folien und Linsen durchführt. Bei der Vermessung von Folien sind Lage, Wölbungen, Wellen, Verspannungen und Mikrostrukturen wie man sie auch von der Haushaltsfolie kennt, für die klassische Transmissionstechnik störend. Der Messkopf beseitigt diese Nachteile für Messungen im Bereich 380 nm-2000 nm, er kann sogar alle Arten von Folien in Transmission vermessen. Der Messkopf ist sowohl als Desktopgerät als auch für die inline Messung von z.B. Roll-to-Roll Anwendungen einsetzbar.
    Eine weitere Anwendung der hohen Lagetoleranz ist die Vermessung der Transmission von Linsen, bei denen die Krümmung durch den breiten Fangbereich kompensiert wird. Damit können z.B. Entspiegelungen einfach kontrolliert werden.

2,64 Millionen Euro für FlexCoPas-Projekt

Die plasmagestützten Ätz- und Beschichtungsanlagen sowie Anlagen zur Atomlagenabscheidung unterstützen modernste Prozesse und Anwendungen für die Herstellung von Nanostrukturen in Forschung, Entwicklung und dem industriellen Umfeld. Schädigungsfreie Bearbeitung von Halbleitermaterialien und Abscheidung von dünnen Barriere- und Passivierungsschichten bei Temperaturen unterhalb 100°C zeichnen diese Anlagen aus.

Das Projekt FlexCoPas beschäftigte sich mit den vielseitigen Nutzungsmöglichkeiten des sogenannten „4. Elementes“ Plasma und dessen Anwendung als Schlüsselelement in vielen Branchen. Ziel war es, durch systematische Erforschung entscheidende Verbesserungen und Innovationen von Plasmaschichten und Schichtstapeln herbei zu führen.

Insgesamt neun Unternehmen und Forschungseinrichtungen waren an dem Projekt beteiligt. Vom BMBF wurde dieses Projekt mit insgesamt 2,64 Millionen Euro im Rahmen des Programms „Photonik Forschung Deutschland“ gefördert.

Weitere Informationen

Download Steckbrief BMBF-Verbundprojekt FlexCoPas (PDF)

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